硅油润滑剂有粘度指数高、耐热性好、凝点低的优点，可在很宽的温度范围内工作。硅油的化学性质是比较温度的，但在长期使用之后也会因氧化和外来杂质的侵入而变质。由于硅油的价格昂贵，应单独回收和再生。
废硅油通常用两种方法再生，电气设备中的废硅油主要用吸附精制处理，可将废硅油与硅胶、活性氧化铝、活性白土、活性碳等吸附剂进行接触精制。在滤去废吸附剂后把硅油在50～110℃下进行真空脱气（如95℃抽真空脱气）或在20～80℃下吹氮气气提，都可得到净化的再生硅油。
另一种方法是：把液态的废硅油用溶剂蒸气处理，利用溶剂冷凝时的溶解作用，把废硅油中的杂质溶解、抽提出来，并形成与硅油不相混溶的另一液相。用这种方法可以把废硅油中的多氯多环芳烃（PCBs）溶解去除。经处理后的硅油还含有微量溶剂，可通过真空干燥去除。通常使用的是烃类溶剂和氯代烃溶剂。
